单级旋片式真空泵只有一个工作室。旋片式真空泵主要有转子、定子、旋片组成。在定子缸内偏心地装有转子，转子槽中装有两块旋片，由于弹簧弹力及转动时的旋片离心力作用而紧贴于缸壁。定子上的进排气口被转子和旋片分为两部分。
当转子在定子缸内旋转时，周期性地将进气口方面的容积逐渐扩大而吸人气体.缩从排气阀排出。
排气阀浸在油里以防止大气流人泵中。油通过泵体上的缝隙、油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内运动表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔之间的密封。网时.油还充满了泵腔内的一切有害空间，以消除它们对极限真空(或称残余压强)的影响。
双级旋片式真空泵工作室有两个组成，两个工作室前后相互串联，向相同方向同转速下旋转，I室是II室的前级，I室是低真空级，II室是比较高的真空级，被抽的气体由进气管道进入II室。当进入的气体压力比较高的时候，所抽的气体经II室压缩之后，压强会迅速增大，被压缩的气体除经通道2进入I室外，还能推开中间排气阀1，从中间排气阀1排出。旋片式真空泵相关产品主要还有：小型真空泵和无油真空泵系列。
当进入II室的气体压力较低时，虽经II室的压缩，也推不开中间排气阀1，气体全部经中壁通道2进入I室，经I室的继续压缩，由排气阀3排出。因而双级旋片式真空泵比单级旋片式真空泵的极限真空高。
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